Experiment No.

Substrate Temperature T_sub (K)

H₂ Flow rate

(sccm)

CH₄ Flow rate

(sccm)

Total pressure P (mbar)

Microwave power P_mw (Watt)

E1

973

10

10

10

342.82

E2

1123

10

10

10

342.82

E3

973

10

10

40

814.54

E4

1123

10

10

40

814.54

E5

973

100

10

10

342.82

E6

1123

100

10

10

342.82

E7

973

100

10

40

814.54

E8

1123

100

10

40

814.54